性能特點 

1、 廣范圍、高精度測量。 

2、具有 Scan AF 的高速測定模式。 

3、與粗糙度的國際標準具有高度相關性。 

4、標配的 MitakaMap 軟件，可對應 ISO 國際標準的 2D/3D 表面 粗糙度/形狀測量標準。 

5、緊湊的尺寸，只需要 400mm x 400mm 的空間即可安裝。 

6、設備重量 31kg。 

技術參數 

1、移動范圍（X，Y，Z）：60 x 60 x 60mm 

2、X-Y 軸分辨率：0.1um 

3、Z 軸分辨率：0.01um 

4、激光點直徑：1um 

5、激光：半導體激光（o/p：1mW Max. λ= 635nm）