性能特點(diǎn) 

1、高精度．安定性．機(jī)能性卓越適合于 FPD 基板·晶圓硬盤 等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型； 

2、是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇； 

3、ET4000A/ ET4000AK 一可實(shí)現(xiàn) 2D/3D 表面形狀測(cè)量； 

4、 ET4000M 一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)； 

5、ET4000L 一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)； 

6、ET4300 一適合 12"樣品測(cè)量。 

技術(shù)參數(shù) 

1、最大試片尺寸：210x 210mm~ 300x 400mm 

2、重現(xiàn)性：1σ 0.5nm 以內(nèi) 

3、測(cè)定范圍：Z:100um X:100 ~ 305mm (Y 移動(dòng)量:150~ 400mm) 

4、分解能：Z:0.1nm X:0.1um 

5、測(cè)定力：0.5UN~ 500UN (0.05mg-50mg)